Контроль процесса вытягивания кристаллов с помощью машинного зрения
Суть проекта
Крупные монокристаллы, такие как монокристаллический кремний, производятся преимущественно методом Чохральского, который был изобретен еще в 1916 году. В настоящее время в автоматизированных системах выращивания кристаллов мониторинг технологического процесса осуществляется с помощью компонентов машинного зрения. Для таких систем приоритетными показателями являются качество и объем выработки конечного продукта.
Клиент Basler в Пекине компания «Ту Чжи Тянь Ся» разрабатывает интеллектуальные решения для управления технологическим процессом с компонентами машинного зрения и передовыми алгоритмами для компаний, занимающихся системным проектированием. Благодаря этим решениям производители кремниевых слитков получают возможности для снижения затрат, повышения чистоты кристаллов и увеличения эффективности производства.
Суть задачи
Залогом высокого и стабильного качества кремниевых слитков является идеальный баланс всех соответствующих параметров процесса роста, включая скорость вращения, температуру тигля и скорость вытягивания. Для точного управления этим процессом компаниям, занимающимся системным проектированием, требуется обеспечить точные входные данные.
Параметры технологического процесса различаются в зависимости от вида кристалла и размеров тигля, что создает сложности с точки зрения масштабируемости системы. Получится ли за счет модульной концепции упростить интеграцию компонентов машинного зрения, вне зависимости от размеров установки?
"Мониторинг процесса и контроль качества в режиме реального времени являются основными задачами, если требуется увеличить диаметр кристалла до желаемых размеров. Для решения этих задач необходима высокоточная и стабильная система машинного зрения. После тщательного анализа рынка мы выбрали Basler по ряду причин. Во-первых, камера Basler разрешением 12 Мп гарантирует высокую стабильность, воспроизводимость результатов и точность. Во-вторых, благодаря Basler мы добились дифференциации продукта, что позволило нам повысить конкурентоспособность и получить известность на рынке. Наконец, простое в использовании программное обеспечение pylon экономит нам значительное время на разработку программ."
Решение
Системы машинного зрения — идеальное решение для автоматизированных систем выращивания кристаллов, которое обеспечивает мониторинг и анализ процесса роста. Благодаря точным входным данным в формате изображений система адаптирует скорость вытягивания кристалла с учетом температуры тигля и поддерживает высокоточное управление на протяжении всего процесса вытягивания.
Ниже перечислены некоторые из основных задач машинного зрения, связанных с этим процессом:
Измерение диаметра выращиваемых кристаллов кремния.
Измерение расстояния между затравкой и поверхностью расплава с помощью одной камеры.
Обнаружение сколов на кремниевых слитках.
Ваши преимущества
Точные результаты измерений и обнаружение дефектов в процессе выращивания кристаллов с помощью камеры Basler разрешением 12 Мп.
Дифференциация продукта за счет модернизации системы машинного зрения с двумя камерами 5 Мп и перехода на одну камеру 12 Мп.
Упрощение архитектуры системы благодаря решению с одной камерой в компактном корпусе.
Последовательность результатов и масштабируемость продукта.
Компоненты этого решения
Хотите реализовать подобное решение? Обратите внимание на эти компоненты.
