Caméras linéaires TDI

Applications, principe de fonctionnement, avantages

Les caméras TDI (Time Delay Integration) sont des caméras linéaires spéciales qui intègrent les signaux lumineux sur plusieurs lignes. Conçues pour des cadences élevées, elles décalent l'image ligne par ligne afin d'augmenter l'intensité de l'éclairage et de réduire le flou de bougé. Elles sont fréquemment utilisées pour l'inspection des plaquettes et des semi-conducteurs et pour l'inspection optique automatisée (AOI).

The most important facts about TDI

  • Precise image processing even with fast movements and low light

  • High sensitivity and low noise

  • Used in semiconductor, display, and electronics production as well as industrial inspection

  • Function by integrating several sensor lines during movement

  • Modern CMOS TDI sensors: Fast, low-noise, energy-efficient, and calibration-intensive

Domaines d'application typiques des caméras linéaires TDI

Les caméras cellulaires TDI sont conçues pour les applications nécessitant des mouvements rapides et de faibles niveaux d'éclairage. Grâce au principe d'intégration à retardement, dans lequel plusieurs lignes de capteurs ajoutent progressivement le signal le long de la direction du mouvement, elles atteignent une sensibilité élevée avec un faible niveau de bruit. Elles sont privilégiées dans la production de semi-conducteurs, d'écrans et d'électronique, où une inspection précise et fiable à des vitesses de traitement élevées est cruciale.


Caméras linéaires TDI pour l'inspection des wafers

Inspection des plaquettes/semiconducteurs

Sensibilité élevée sur de longues durées d'exposition, qualité d'image constante avec des surfaces très sombres ou réfléchissantes, et faibles valeurs de bruit avec des séquences rapides, idéales pour une classification fiable des défauts.
Caméras linéaires TDI pour l'inspection des batteries

Inspection de la batterie

Un éclairage et un rétroéclairage puissants avec une amplification rationalisée du signal sur de nombreuses lignes, une meilleure détection des défauts fins dans les structures transparentes et une réduction des taux d'échec dans la production.
Caméras linéaires TDI pour l'inspection des écrans plats

Inspection de l'affichage

Linéarité et uniformité maximales sur de grandes surfaces, distorsion minimale entre les lignes et détection efficace des erreurs et des défauts sous-pixel, par exemple dans les écrans plats.
Caméras linéaires TDI pour l'inspection optique automatisée (AOI)

Inspection optique des cartes de circuits imprimés

La résolution en profondeur et l'éclairage structuré permettent de détecter avec précision les défauts de hauteur et de ligne, de résister aux réflexions sur le cuivre et les joints de soudure et de scanner rapidement de grandes zones de circuits imprimés avec une bonne résolution des défauts.

Différences entre les caméras TDI et les caméras linéaires standard

La TDI convient aux processus à faible luminosité ou très rapides pour lesquels les caméras linéaires classiques ne sont pas suffisantes. Les caméras linéaires TDI diffèrent également en termes d'exposition et de traitement du signal ; elles intègrent plusieurs lignes pendant le mouvement. Cela permet d'augmenter la sensibilité à la lumière et de réduire le bruit.

Aspect

Caméra linéaire classique

Caméras linéaires TDI

Structure du capteur

1 (ou quelques) ligne(s)

Nombreuses lignes consécutives (par exemple, jusqu'à 256 niveaux)

Sensibilité

Niveau de référence (ligne de capteur unique)

La sensibilité augmente avec le nombre de niveaux de TDI (N-fold)

Besoin de lumière


Un éclairage élevé est nécessaire, car le signal n'est intégré qu'une seule fois.


Éclairement plus faible, car le signal est intégré sur plusieurs lignes


Max. Vitesse de l'objet

Plage de vitesse limitée

Des vitesses nettement plus élevées avec la même quantité de signal

Flou artistique

Essentiel pour un mouvement rapide

Réduit, car le même point est "exposé" plusieurs fois

Coûts

Faible

Moyenne à élevée (en raison de la complexité de la conception du système)


Amplification du signal TDI : Principe et avantages de l'intégration de la lumière

En intégrant plusieurs lignes d'exposition, les caméras linéaires TDI modernes atteignent une sensibilité jusqu'à trois fois supérieure et une plage dynamique étendue. Cela permet d'améliorer la qualité du signal dans des conditions de faible luminosité et de capturer plus précisément les détails dans les zones claires et sombres de l'image, ce qui accroît la fiabilité et l'efficacité des processus d'inspection industrielle.

Sensibilité à la lumière du capteur TDI
L'intégration de signaux multiples via les lignes de capteurs augmente la sensibilité à la lumière du capteur TDI.

Étape 1 : Saisie de la première ligne

Lorsqu'un objet passe sous une caméra linéaire TDI, la première ligne de pixels du capteur détecte la lumière réfléchie et la convertit en une charge électrique. Cette charge est enregistrée et ajoutée à chaque étape d'intégration suivante. Selon la caméra, le capteur comprend de 16 à 256 étapes de ce type, ce qui augmente considérablement l'intensité du signal et donc la sensibilité.

 Les taxes perçues à la première ligne sont transmises au niveau de pixel suivant.
Les taxes perçues lors de la première étape sont répercutées sur l'étape suivante du pixel.

Étape 2 : Transfert de charge

Dès que l'objet s'est déplacé d'une ligne de pixel exactement, les charges collectées sur la première ligne sont transmises à la ligne de pixel suivante et ajoutées à la nouvelle information lumineuse qui s'y trouve. Ce processus est répété ligne par ligne jusqu'à ce que le signal additionné soit lu. Le résultat est une image nettement améliorée avec un meilleur rapport signal/bruit par rapport aux caméras linéaires conventionnelles.

Collecte et intégration des charges
Après intégration, les données sont traitées numériquement pour produire des images à haute résolution.

Étape 3 : Intégration (ajout)

Lorsque ces charges arrivent sur la deuxième ligne, les pixels de cette ligne captent à nouveau la lumière provenant du même point de l'objet. Les nouvelles charges collectées au cours de ce processus sont ajoutées ou intégrées aux charges existantes (provenant de la première ligne). Cette détection multiple de la lumière et l'intégration des charges garantissent une force de signal maximale par pixel.

Les charges se déplacent le long du capteur, toujours en synchronisation avec l'objet en mouvement.
De nouveaux frais sont ajoutés aux frais existants.

Étape 4 : Répéter sur toutes les rangées

Ce processus de déplacement et d'ajout est répété sur toutes les lignes (étapes) du capteur TDI. Les charges "move" le long du capteur, toujours en synchronisation avec l'objet en mouvement, et collectent de plus en plus d'informations lumineuses à partir du même point de l'objet à chaque ligne.

Lecture de l'étage de sortie
Lorsque la dernière ligne du capteur est atteinte, les charges collectées sont lues et combinées en une valeur précise du pixel.

Étape 5 : Lecture de la ligne finale

Lorsque les charges accumulées atteignent la dernière ligne du capteur, elles sont lues. La valeur du pixel qui en résulte contient la somme des informations lumineuses d'un point sur toutes les lignes d'intégration. Il en résulte un signal plus fort et moins bruyant, qui permet de résoudre de fines différences de luminosité et d'effectuer des évaluations plus précises dans des conditions de faible éclairage.

Contrôle de l'exposition et synchronisation pour les caméras linéaires TDI

Les caméras linéaires TDI sont très exigeantes en matière de synchronisation et de contrôle de l'exposition. L'étalonnage est complexe et doit être précis afin d'éviter les distorsions. La coordination exacte entre le mouvement de la caméra et le mouvement de l'objet est cruciale pour garantir une qualité d'image élevée et constante.

Synchronisation et étalonnage
L'étalonnage et l'entretien régulier permettent de compenser les dérives et l'usure éventuelle.

Synchronisation et étalonnage

Grâce à des systèmes de contrôle précis et à du matériel de synchronisation, la caméra est précisément adaptée à la vitesse de l'objet. Nos cartes d'acquisition offrent des fonctions intégrées de déclenchement et de synchronisation qui évaluent les signaux des encodeurs et génèrent des déclenchements de ligne précis et des signaux de démarrage/arrêt pour la caméra linéaire TDI. L'étalonnage et la maintenance compensent la dérive et l'usure et assurent la synchronisation pour une qualité d'image constante.


Contrôle du mouvement de l'objet et de la capture d'images
En capturant les variations de vitesse et les ajustements dynamiques des paramètres de la caméra, l'enregistrement reste stable.

Contrôle du mouvement de l'objet et de la capture d'images

Les contrôles adaptatifs détectent les variations de vitesse et ajustent dynamiquement les paramètres de la caméra. L'image reste stable même si les profils de mouvement changent ; les valeurs mesurées restent également précises. Cela permet de réduire les délais et d'ajuster avec précision les paramètres d'exposition et de mise au point.

Lumière, qualité de l'image et gestion des données en temps réel
Qualité d'image optimale et transmission rapide des données grâce à un éclairage uniforme et à de puissantes interfaces CXP.

Des images claires quelle que soit la lumière

Des images claires dans toutes les conditions d'éclairage nécessitent un éclairage uniforme et suffisamment puissant - avec des sources lumineuses supplémentaires ou une lumière infrarouge pour améliorer le contraste, si nécessaire. Grâce aux interfaces CXP, qui offrent un débit de données élevé de l'ordre du Gbit/s et une latence minimale (de quelques microsecondes à quelques millisecondes), la qualité élevée de l'image est transmise presque en temps réel. Les données d'image sont donc immédiatement disponibles pour des décisions rapides liées au processus.

Conclusion : La TDI offre une qualité d'image élevée dans des conditions difficiles

Les caméras linéaires TDI permettent d'obtenir une qualité d'image élevée avec des mouvements particulièrement rapides et une faible luminosité.

  • Domaines d'application: Inspection dans la production de semi-conducteurs, tests de cartes de circuits imprimés et d'écrans plats, etc.

  • Différences par rapport aux caméras linéaires conventionnelles: Intégration multiple du signal sur plusieurs lignes de capteurs au lieu d'une seule exposition, ce qui permet d'obtenir une sensibilité nettement plus élevée et un meilleur rapport signal/bruit.

  • L'image d'un objet en mouvement est capturée ligne par ligne ; la charge électrique de chaque ligne est transmise et ajoutée en synchronisation avec le mouvement de l'objet.

  • Défis: Un éclairage stable et une synchronisation précise du mouvement de l'objet, du balayage du capteur et de l'étalonnage sont nécessaires, et il y a une sensibilité à la dérive.

Caméra Basler racer 2 XL 16k TDI avec CoaXPress-over-Fiber
Caméra Basler racer 2 XL 16k TDI avec CoaXPress-over-Fiber

Système de vision TDI de Basler

Le système de vision TDI de Basler constitue une base puissante et fiable pour les besoins de votre projet. Nous collaborons avec vous pour développer un système de pointe à l'épreuve du temps, spécialement adapté à vos besoins : la caméra linéaire TDI racer 2 XL, par exemple, fournit des images superbement éclairées à des vitesses élevées avec 256 niveaux TDI. Avec notre soutien, une solution à l'épreuve du temps est créée, avec des composants individuels adaptés à votre application.

À propos du système TDI-Vision de Basler

Questions fréquemment posées sur les caméras linéaires TDI

Les caméras linéaires TDI capturent un objet sur plusieurs lignes de capteurs et additionnent les signaux de plusieurs expositions. Il en résulte une sensibilité et une qualité d'image nettement supérieures, notamment en cas de faible luminosité ou de mouvements rapides.

La technologie TDI est particulièrement efficace dans les systèmes d'inspection à grande vitesse, par exemple dans les tests de semi-conducteurs et de circuits imprimés ou dans l'imagerie scientifique.

Avec la méthode TDI, les informations lumineuses réfléchies par l'objet sont enregistrées ligne par ligne et transmises de manière synchronisée avec le mouvement de l'objet. Chaque ligne ajoute de nouveaux signaux lumineux, ce qui amplifie le signal global.

Les systèmes TDI nécessitent un éclairage uniforme et stable ainsi qu'une synchronisation précise entre le mouvement de l'objet et le balayage du capteur afin de produire des images nettes et sans distorsion.

Une mécanique sans dérive, un contrôle précis de la vitesse et un étalonnage régulier sont essentiels. Pour un transfert efficace des données, il est également important d'intégrer des interfaces à grande vitesse telles que CoaXPress ou Camera Link.

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