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백색광 간섭계 센서 (White Light Interferometry Sensor)

백색광 간섭계 원리를 이용한 고정밀 비접촉식 3D 센서로 마이크로미터 단위 이하의 정밀 검사를 지원합니다.

고속 고정밀 백색광 간섭계 3D 센서

백색광 간섭계 원리를 이용한 고정밀 비접촉식 3D 센서로 마이크로미터 단위 이하의 정밀 검사를 지원합니다. 글래스, 투명체 등 대상물의 색상이나 재질에 관계없이 높은 해상도와 뛰어난 반복 정밀도를 제공합니다.

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수평 해상도 (X축) 높이 해상도 (Z축) FOV 센서 종류 브랜드 카메라 모델 센서 종류 수평 해상도 (X축) 높이 해상도 (Z축) 반복정밀도 (Z축) FOV 측정 방식
Heliotis Sensor H8 2x Area Sensor 12 μm 20 nm 15 nm 6.5 x 6.1 mm White Light Interferometry Sensor
Heliotis Sensor H8 4x Area Sensor 6 μm 20 nm 15 nm 3.3 x 3.1 mm White Light Interferometry Sensor
Heliotis Sensor H8 8x Area Sensor 3 μm 20 nm 15 nm 1.6 x 1.5 mm White Light Interferometry Sensor
Heliotis Sensor H8 10x Area Sensor 2.4 μm 20 nm 15 nm 1.3 x 1.2 mm White Light Interferometry Sensor
Heliotis Sensor H8 20x Area Sensor 1.2 μm 20 nm 15 nm 650 x 610 μm White Light Interferometry Sensor
Heliotis Sensor H8 50x Area Sensor 0.48 μm 20 nm 15 nm 260 x 250 μm White Light Interferometry Sensor
Heliotis Sensor H8 100x Area Sensor 0.24 μm 20 nm 15 nm 130 x 120 μm White Light Interferometry Sensor
Heliotis Sensor H6 TG-R20 Area Sensor 20 μm 100 nm 100 nm 5.86 x 5.62 mm White Light Interferometry Sensor
Heliotis Sensor H6 TG-R10 Area Sensor 10 μm 100 nm 100 nm 2.93 x 2.81 mm White Light Interferometry Sensor
Heliotis Sensor H6 TG-R5 Area Sensor 5 μm 100 nm 100 nm 1.47 x 1.41 mm White Light Interferometry Sensor
Heliotis Sensor H6 MIRAU-X10 Area Sensor 4 μm 100 nm 100 nm 1.16 x 1.11 mm White Light Interferometry Sensor
Heliotis Sensor H6 MIRAU-X20 Area Sensor 2 μm 100 nm 100 nm 580 x 556 μm White Light Interferometry Sensor
Heliotis Sensor H6 MIRAU-X50 Area Sensor 0.8 μm 100 nm 100 nm 232 x 222 μm White Light Interferometry Sensor

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