유리 기판 TGV 검사를 위한 비전 솔루션
고밀도 비아. 미세 결함. 한 번에 전체 스캔.
AI, 고성능 컴퓨팅(HPC), 첨단 칩렛 아키텍처에 대한 수요 증가에 따라, 반도체 산업은 패널 레벨 패키징(PLP)과 글라스 코어 기판으로 빠르게 전환하고 있습니다. 이러한 변화는 기존 검사 방식의 한계를 드러내고 있으며, 특히 대형 글라스 패널의 도입은 새로운 기술적 과제를 수반하는 동시에 고성능 검사에 대한 요구를 가속화하고 있습니다. Basler는 고밀도 TGV(Through Glass Via) 검사에 특화된 특허 기술을 바탕으로, 글라스 기판 전용 비전 솔루션을 제공합니다. 업계 최고 수준의 해상도와 처리 속도를 갖춘 이 솔루션은 한 번의 스캔으로 전체 검사를 완료하여, 공정 속도와 정밀도 모두를 확보할 수 있게 합니다.
TGV 제조 공정의 주요 검사 포인트
유리 기판 제조 공정은 비아 레이저 드릴링, 습식 에칭, 금속화, 동(Cu) 채움 등 고정밀 단계를 포함하며, 각 공정마다 철저한 품질 관리가 필수입니다. 첨단 패키징 환경에서 고밀도 인터커넥트가 표준으로 자리잡으면서, 모든 비아가 완전하게 형성되었는지와 결함 유무를 정밀하게 확인하는 것이 중요해졌습니다. 비아 누락이나 변형은 후속 공정에서 치명적인 문제를 유발할 수 있으며, 수율 저하와 함께 막대한 생산 손실로 이어질 수 있습니다. 검사는 비아 형성 상태, 금속화 품질, 구조적 무결성을 전체 패널 전역에서 정밀하게 검증해야 하며, 신뢰도 높은 패키징을 위한 출발점은 바로 철저한 유리 기판 검사에 있습니다.
유리 기판 검사에서의 과제는 단순히 높은 투과율과 반사율을 제어하는 것에 그치지 않습니다. 핵심은 수천 개에 달하는 미크론 단위 비아를 고속으로, 그리고 정밀하게 검사해야 한다는 점입니다. Basler는 이 복잡한 문제를 업계 선도적인 광학 및 이미지 처리 기술을 통해 해결했습니다.
One-scan TGV 검사: 블라인드 스팟 없이 처리량 극대화
지금의 AOI 시스템, 검사 정확도보다 병목을 만들고 있진 않습니까?
현재 사용 중인 AOI 시스템은 TGV(Through Glass Via) 제조에 사용되는 대형 유리 기판(예: 510 mm × 500 mm)의 전면 검사를 수행하는 데 구조적 한계를 드러내고 있습니다. 검사 영역, 해상도, 처리 속도 간의 트레이드오프로 인해, 균열, 기포, 사이드월 거칠기, 이중 콘형 비아의 정렬 불량과 같은 미세 결함이 안정적으로 검출되지 않는 경우가 많습니다. 특히 유리 기판의 높은 투명성과 복잡한 3D 비아 구조는 기존 비전 시스템의 한계를 더욱 부각시키며, 품질 신뢰성에 직접적인 영향을 미치고 있습니다.
단 한 번의 스캔으로 정밀 검사. 블라인드 스팟 제로.
Basler의 특허 받은 One-scan TGV 검사 솔루션은 독자적인 광학 설계, 고해상도 이미징 기술, 그리고 고급 이미지 처리 알고리즘을 통합하여 대형 유리 기판에서 발생하는 Z축 정렬 문제와 미세 결함 검출의 과제를 효과적으로 해결합니다. 이 솔루션을 통해 고객이 기대할 수 있는 주요 기능은 다음과 같습니다:
블라인드 스팟 없이 단 한 번의 스캔으로 전체 패널 커버
콘 형상 불일치, 엣지 치핑, 깊이 불균일 등 까다로운 결함 정밀 검출
테이퍼 각도, 사이드월 정밀도, 비아 깊이, 피치 및 직경에 대한 미크론 단위 분석
이 통합 비전 솔루션은 탁월한 명암 대비의 이미지를 제공하여, 고속 TGV 검사에서 뛰어난 정확도를 구현하며 첨단 기판 제조 공정의 품질 관리 향상과 수율 개선에 크게 기여합니다.
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데모 요청 또는 실제 적용 사례 이미지 미리보기를 원하시면 문의해 주세요. 가장 까다로운 결함도 얼마나 선명하게 시각화되는지 직접 확인해 보실 수 있습니다.
신뢰할 수 있는 유리 기판 검사
유리 기판 검사는 익숙한 작업일지 모르지만, Basler의 새로운 솔루션은 선명도, 속도, 확장성에서 지금까지와는 다른 차원의 성능을 제공합니다.
유리 기판 TGV 검사에서 기술적 병목에 직면해 계십니까? Basler는 업계가 직면한 주요 검사 과제를 이미 해결해온 고성능 비전 솔루션을 보유하고 있으며, 귀사의 실제 공정과 요구에 맞춘 맞춤형 기술 컨설팅을 통해 최적의 솔루션을 제안해드립니다. 지금 귀사의 공정에 최적화된 검사 전략을 Basler와 함께 설계해보십시오.